什么是光刻机?它用来做什么
热点事件 2023-08-21 07:35www.nygn.cn今日热点事件
一般按照具体的使用场景,可以把光刻机分为以下三类一是用于生产芯片的光刻机,属于芯片制造流程当中的核心设备之一,这是用途最广的场景;二是用于封装的光刻机;三是用于LED制造领域的投影光刻机。
在这三种光刻机类型当中,我们国家跟发达国家的差距都比较明显,尤其是在芯片制造方面所使用的光刻机方面,荷兰的ASML公司光刻机可以做到5nm,我们国家即便是14nm都属于一项巨大的条件了,所以这其中存在的差距,是非常明显的。
在高端光刻机领域,荷兰的ASML属于当之无愧的龙头老大,市场份额占80%,尼康和佳能也曾做过光刻机,在ASML面前,基本上没有什么竞争优势,无论是在技术上还是市场份额方面,即便是尼康最新的Ar-F immersion 630价格还不及ASML Ar-F immersion 1980D的一半,仍然没有任何胜算。
判断光刻机的性能指标,最直接的,就是看它能生产处制程为多少nm的芯片,比如荷兰ASML公司生产的通过极紫外光(EUV)进行光刻的光刻机,可以制造制程为7nm的芯片,其他比如尼康、佳能、台积电等厂商的光刻机,还远不能跟ASML相比。
从光刻机的工作原理上来讲,我们从下面这张能看出个大概的原理,对于外行人来讲,光刻机就类似个黑匣子,关键在于最终能够制作出多少nm的芯片来就ok了,对于非专业人士来讲,也没有太大的了解的必要。
从组成部分来讲,光刻机一般包括测量台、曝光台、激光器、光束矫正器、能量控制器、光束形状设置、遮光器、能量探测器、掩模版、掩膜台、物镜、硅片、内部封闭框架、减振器等等。
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